E-EC-ABL-X-seriens lineære motorplatform anvender metoden med luftbærende styreskinne kombineret med jernkerne lineær motor, som har rethed og fladhed uovertruffen af traditionelle mekaniske styreskinner, og er især velegnet til små trinafstande eller ultra- præcise positioneringsapplikationsscenarier.Det er et fremragende applikationsvalg til præcis optisk debugging, installation og behandling.
● Luftlejet lineær føring har meget god planhed og rethed
● Lineær motor af jernkerne sikrer tilstrækkelig systemstivhed og dynamisk ydeevne
● Støjsvag og stabil drift med ekstremt lavt støjniveau
● Den har et meget højt niveau af præcisionsydelse
● Ideel til scanningsapplikationer eller højpræcisionspositionering
● Renrumskompatibel
● Størrelse på bevægelsesplatformen 210 mm × 100 mm
● Vandringsområde 200 mm til 500 mm
● Opløsning til 100 nm eller 1 nm