Specifikation | LMT-XY-200X200 | ABVT-Z20 (luftlejeskinne) |
Motortype | Trefaset jernfri motor | Stemmespolemotor+ |
Løsning | Standard 100nm digital mængde | 1vpp ned til 5nm |
Motortryk | Kontinuerlig 60N/peak 210N | Kontinuerlig 60N/peak 210N |
Minimum trinstørrelse[nm] | 200nm | 100 nm |
Rejse [mm] | 200×200 | 10 |
Gentagelighed [um] | ±0,3 | |
Positionsnøjagtighed [um] | ±1 | ±0,5 |
fladhed [um] | 10 um | 5 um |
Ligehed [um] | 1um | 1um |
Maks. hastighed [mm/s] | 500 mm/s | 30 mm/s |
Belastningskapacitet [kg] | 5 kg (Z-akse med pneumatisk konstant kraftbalancevægt) |